基于石英基底共面波导的石墨烯射频机械开关

摘要

本发明涉及一种基于石英基底共面波导的石墨烯射频机械开关结构，属于MEMS技术领域。其特征在于，所述石墨烯射频开关含有从上到下连接在一起的石墨烯(2‑4)、氮化硼(2‑5)、共面波导信号传输线(2‑1)，共面波导地线(2‑2)，石英基底(2‑3)；所述共面波导信号传输线(2‑1)与位于两边的两条共面波导地线(2‑2)，互相平行；所述石墨烯(2‑4)位于氮化硼(2‑5)上方；所述石墨烯(2‑4)和氮化硼(2‑5)组成复合梁结构，梁两端分别与两条共面波导地线(2‑2)接触，中间部分悬空；所述共面波导信号传输线(2‑1)位于所述复合梁结构悬空部分正下方。本发明提供的这种结构可使石墨烯射频机械开关减小插入损耗、增大隔离度，并易于加工。