硅片插片全自动清洗装置及清洗工艺流程

摘要

本发明涉及一种硅片插片全自动清洗装置及清洗工艺流程，包括插片机、清洗机上料装置、清洗机、烘干机、分选机、片篮回流线，插片机、清洗机上料装置、清洗机、烘干机、分选机依次放置，用螺栓相互固定在一起，清洗机上料装置取料机构与插片机的插片台衔接，清洗机上料区伸进清洗机上料装置内与清洗机上料装置的出料导轨衔接，清洗机的最后清洗槽与烘干机入料口相接，烘干机出口与分选机前端的输送线相连，片篮回流线从分选机出料口经过清洗机上料装置至插片机止，固定在清洗装置一侧，有益效果是，自动化水平高、提高了工作效率、节约了人力，各设备之间独立控制，提高了整机运行可靠性、便于设备维护。