一种可调楔形间隙掩膜电解加工微流道装置

摘要

本发明提供了一种可调楔形间隙掩膜电解加工微流道装置，属于电解加工技术领域。装置包括定位模块、间隙调节模块和角度调节模块，定位模块针对圆柱状阳极工件设计，采用一面两销将工件完全定位；间隙调节模块用于整体调节阴阳极间的间隙，阴阳极板保持平行；角度调节模块用于改变阴阳极板间流道的截面形状，改变阴阳极板间的夹角，局部改变电解液在微流道圆弧段的流速，满足微流道圆弧段加工的流速要求，提高电解加工精度、效率，降低工件报废率。与之相对应的通液方法主要是在电解加工过程中，将进出液口进行调换，保证微流道两端圆弧段的加工精度，弥补变间隙电解加工产生的加工深度不均匀性，提高大面积微流道在深度方向上的统一性。