点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法

摘要

一种点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法之二,该测量仪由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、理想波前与点光源发生单元、物方精密调节台、被测光学系统、像方波前检测单元、像方精密调节台和数据处理单元组成。本发明测量仪在被测光学系统物面仅需要产生一路标准球面波输出，降低了系统复杂性，提高了光能利用率；该测量仪也降低了系统精密度要求及操作复杂性。