一种超纯水制备装置及其超纯水制备方法

摘要

本发明涉及一种超纯水制备装置及其超纯水制备方法，其中，超纯水制备装置包括一级淡水系统和二级淡炎系统，一级淡水系统包括横向叠置的若干换热板片，各相邻换热板片间交错形成第一换热通道和第二换热通道，第一换热通道的上方设有集流通道一，集流通道一与冷水进水管连通，第二换热通道的下方设有集流通道二，集流通道二与热媒进口连接，第一换热通道的下方和第二换热通道的上方敞开，第一换热通道内的中部分别设有布液成膜装置，第二换热通道内的中部分别设有密封隔条将第二换热通道分隔成上部通道和下部通道，上部通道下侧一级淡水出口连通，下部通道的上侧与热媒出口连接，第一换热通道的下方开口与第二换热通道的上方开口通过连通腔连通。