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包括多层涂层的光学元件及包括光学元件的光学装置

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本发明涉及一种光学元件(50)，包含：基板(52)；以及施加于该基板(52)的多层涂层(51)，多层涂层包含：至少一个第一层系统(53)，其由相同构造的堆叠(X1至X4)的布置组成，各堆叠具有至少两个层(53a‑d)；以及至少一个第二层系统(54)，其由相同构造的堆叠(Y1，Y2)的布置组成，各堆叠具有至少两个层(54a，54b)，其中在该多层涂层(51)的热负载时，第一层系统(53)经历各堆叠(X1至X4)的厚度(d

著录项

公开/公告号CN105190372B

专利类型发明专利
公开/公告日2018-01-05

原文格式PDF
申请/专利权人卡尔蔡司SMT有限责任公司;
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申请/专利号CN201480024171.6
发明设计人 R.W.E.范德克鲁伊斯;S.尼亚贝罗;A.E.亚克欣;F.比柯克;
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申请日2014-04-15
分类号
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人邱军
地址德国上科亨
入库时间 2022-08-23 10:05:49

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-01-05

授权

授权
2016-05-25

实质审查的生效 IPC(主分类):G02B5/08 申请日:20140415

实质审查的生效
2015-12-23

公开

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