公开/公告号CN105492654B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-01-05
原文格式PDF
申请/专利权人 大日本印刷株式会社;
申请/专利号CN201480048190.2
申请日2014-09-12
分类号C23C14/24(20060101);H01L51/50(20060101);H05B33/10(20060101);
代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;
代理人庞东成
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 10:05:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-01-05
授权
授权
2016-08-31
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/24 申请日:20140912
实质审查的生效
2016-04-13
公开
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机译: 用于制造沉积掩模的金属板,金属板检查方法,金属板制造方法,沉积掩模,沉积掩模装置和沉积掩模制造方法
机译: 用于制造气相沉积掩模的金属板,金属板检查方法,金属板的制造方法,气相沉积掩模,气相沉积掩模装置及气相沉积面膜的制造方法
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