氮化物半导体多层膜反射镜以及使用了该反射镜的发光元件

摘要

本发明实现了氮化物半导体多层膜反射镜的低电阻化。在氮化物半导体多层膜反射镜中，第一半导体层(104)的Al成分与第二半导体层(106)的Al成分相比而较高，在第一半导体层(104)与第二半导体层(106)之间并在第一半导体层(104)的111族元素表面侧，存在有以Al成分随着靠近第二半导体层(106)而降低的方式被调节的第一成分倾斜层(105)，并且在第一半导体层(104)的氮表面侧，存在有以Al成分随着靠近第二半导体层(106)而降低的方式被调节的第二成分倾斜层(103)，相对于第一半导体层(104)、第二半导体层(106)、第一成分倾斜层(105)以及第二成分倾斜层(103)的传导带下端的电子的能级不存在水平断错而为连续，第一成分倾斜层(105)中的n型杂质浓度为5×10¹⁹cm^‑3以上。