一种石墨烯偏振不敏感电光调制器结构

摘要

本发明公开了一种新型的石墨烯偏振不敏感电光调制器结构，包括光波导基底层，光波导基底层的上方设置有梯形结构的光波导层，光波导层的上表面和两侧面覆盖有外光波导层，外光波导层和光波导层之间设置有全部或部分重叠的第一石墨烯层和第二石墨烯层，第一石墨烯层和第二石墨烯层之间设置有隔离介质层，所述第一石墨烯层连接有第一电极，所述第二弧形石墨烯层连接有第二电极。本发明可以同时对TE和TM模的光吸收系数进行一致的动态调谐，从而实现对光波的偏振不敏感调制，有效地解决了目前石墨烯光调制器对入射光波的偏振方向敏感的技术难题,制备工艺方面更容易实现，易于集成，并具有调制速率高、功耗低的优点。