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公开/公告号CN104600191B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-11-21
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院物理研究所;
申请/专利号CN201310529501.4
发明设计人 赵莹莹;胡凤霞;王晶;匡皓;王栓虎;孙继荣;沈保根;
申请日2013-10-31
分类号
代理机构北京泛华伟业知识产权代理有限公司;
代理人郭广迅
地址 100190 北京市海淀区中关村南三街8号
入库时间 2022-08-23 10:04:13
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-11-21
授权
2015-05-27
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L43/10 申请日:20131031
实质审查的生效
2015-05-06
公开
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