低温面形摄影测量方法

摘要

本发明公开了一种低温面形摄影测量方法，其采用高分辨率工业相机，结合低温电机驱动的自动测试台，实现测量设备在低温环境实验舱中的自动化拍摄；利用常温下三坐标仪测量结果对靶标厚度进行标定，从而消除了由靶标厚度差异造成的系统测量误差。本发明在低温环境实验舱中，实现了2.1微米rms的重复测量精度、测量效果理想，可在常温至‑60℃的温度范围内测量了多种板材结构的面形的变化规律。