一种基于MEMS系统的高灵敏度高分辨率的微型温度传感器及监测方法

摘要

本发明涉及一种基于MEMS系统的高灵敏度高分辨率的微型温度传感器及监测方法，包括两组V型弯曲梁组件，其中每组V型弯曲梁组件包括若干上下叠放的V型梁，所述每组V型弯曲梁组件的所有V型梁同中心，且同时固定在一个固定块上；两组V型弯曲梁组件通过连接杆与固定在一个杠杆的一端，所述杠杆另一端设有压电陶瓷，压电陶瓷的上下断面分别是接电的上电极和下电极。本发明可以感应极其微小的温度变化并且将之转换为较大的电信号输出，能够显著提高MEMS微温度传感器的分辨率及灵敏度。