提供裂纹检测用预测模型的方法和检测半导体结构上的裂纹的方法

摘要

本发明涉及方法提供用于在半导体结构上的裂纹检测的预测模型的方法，该半导体结构是光伏太阳能电池、制造过程中的光伏太阳能电池的前级物，尤其是用于制造太阳能电池的半导体材料，该方法包括以下方法步骤：A）提供具有至少一个裂纹的参照半导体结构；B）提供关于至少一个裂纹的裂纹数据，裂纹数据包含与裂纹在参照半导体结构上的位置有关的几何位置数据；C）空间分辨式测量在半导体结构中所产生的光致发光的多个局部测量点和/或通过空间分辨测量该半导体结构的IR吸收来空间分辨测量该参照半导体结构，D）通过依据在方法步骤C中求出的空间分辨测量数据并且依据在方法步骤B中提供的裂纹数据进行学习算法的训练来建立预测模型，其中，学习算法的训练包括以下方法步骤：D1）通过下述方式建立用于至少一个局部描述符点的至少一个描述符，即，针对描述符点设定或确定一检查区，并且依据检查区内的测量数据建立该描述符，该描述符是特征矢量和/或特征分布和/或特征直方图，和D2）利用该描述符号和裂纹数据训练学习算法。本发明还涉及用于裂纹检测的方法和装置。