固体有机金属化合物用填充容器和其填充方法

摘要

提供一种可以长时间以一定浓度稳定地向MOCVD装置等气相外延生长用装置供应固体有机金属化合物的新型填充容器。这种固体有机金属化合物用填充容器具有载气导入口(2)和载气排出口(3)，其特征在于该容器具有以下结构：填充容器内部被分为多个纵向空间，利用载气流通方向反转装置(6)，使从载气导入口(2)导入的载气作为向下的气流流通过各纵向空间，并从载气排出口(3)排出。