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可控气氛热处理炉碳势和温度控制系统在线校准方法

摘要

本发明公开了一种可控气氛热处理炉碳势和温度控制系统在线校准方法,属于技术基础计量领域,解决了可控气氛炉控制仪表在线校准的问题。该校准方法通过测量可控气氛炉内温度和气氛浓度,对可控气氛炉内各种气体组分浓度的测量建立碳势与炉内气氛(CO、H

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-11-14

    授权

    授权

  • 2016-01-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 8/20 申请日:20150911

    实质审查的生效

  • 2016-01-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 8/20 申请日:20150911

    实质审查的生效

  • 2015-12-30

    公开

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  • 2015-12-30

    公开

    公开

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