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大口径单轴晶体折射率均匀性测量装置及方法

摘要

一种大口径单轴晶体折射率均匀性测量装置及其方法,准直镜、起偏器和半透半反镜依次设置在激光器的出射光所在光路上;半透半反镜将入射至半透半反镜的光进行反射和透射并分别形成反射光和透射光;会聚镜设置在反射光所在光路上并将反射光会聚至积分球功率计中;缩束系统物镜、缩束系统目镜和夏克‑哈特曼波前传感器依次设置在透射光所在光路上;待测大口径单轴晶体置于起偏器和半透半反镜之间;计算机分别与积分球功率计、夏克‑哈特曼波前传感器和待测大口径单轴晶体相连。本发明可实现大口径单轴晶体折射率均匀性测量,不受波长限制,和外界环境气流和振动的影响,并很好的保证测量精度。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-06-23

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N21/41 授权公告日:20171031 终止日期:20190710 申请日:20150710

    专利权的终止

  • 2017-10-31

    授权

    授权

  • 2017-10-31

    授权

    授权

  • 2016-01-13

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/41 申请日:20150710

    实质审查的生效

  • 2016-01-13

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/41 申请日:20150710

    实质审查的生效

  • 2016-01-13

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/41 申请日:20150710

    实质审查的生效

  • 2015-12-16

    公开

    公开

  • 2015-12-16

    公开

    公开

  • 2015-12-16

    公开

    公开

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