具有自我修复能力的复合阻隔结构

摘要

本发明公开了一种具有自我修复能力的复合阻隔结构，具有多个功能结构层，包括在基板之上依次叠置基础Al₂O₃层、中部铝层、中部Al₂O₃层和外部致密结构层，基础Al₂O₃层构成第一道阻隔层，外部致密结构层能阻隔水氧分子透过，中部Al₂O₃层和外部致密结构层共同构成第二道阻隔层，纯铝层作为修复剂层，能在叠置基础Al₂O₃层和中部Al₂O₃层出现缝隙缺陷时提供Al原子，在缺陷处自发氧化形成Al₂O₃，填补相应缺陷。本发明复合水氧阻隔层的多层复合结构既有优异的水氧阻隔性，又具备良好的重复弯曲性能及缺陷形成后的自我修复能力，在柔性衬底性能的水氧阻隔性、弯曲性能提升方面具有广泛应用前景。