公开/公告号CN106030753B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-10-03
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社日立高新技术;
申请/专利号CN201480076317.1
申请日2014-03-28
分类号
代理机构北京银龙知识产权代理有限公司;
代理人范胜杰
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 10:02:10
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-10-03
授权
授权
2016-11-09
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/20 申请日:20140328
实质审查的生效
2016-11-09
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/20 申请日:20140328
实质审查的生效
2016-10-12
公开
公开
2016-10-12
公开
公开
机译: 带电粒子束装置的标准试样,其试样制备方法和带电粒子束装置
机译: 带电粒子束装置的标准试样,其试样制备方法和带电粒子束装置
机译: 用于带电粒子束装置的带电粒子源装置,用于样本检查的带电粒子束装置以及用于在带电粒子束中提供用于样本检查的主带电粒子束的方法