自动聚焦式激光诱导击穿光谱检测系统及其检测方法

摘要

自动聚焦功能式激光诱导击穿光谱检测系统及其检测方法，包括对焦光源、光学检测探头、信号采集与处理模块、自动聚焦模块、检测探头位置调节模块。光学检测探头内部包含入射激光聚焦透镜、等离子体光谱信号收集透镜、传输光纤耦合接口等。通过采集样品表面上两个对焦光源的光斑，根据光斑距离和离焦量的关系获得测量点的离焦量，然后由检测探头位置调节模块调节检测探头的位置，从而实现对焦光源在样品上的自动聚焦。本发明可以实现样品位置的自动聚焦，能够克服待测样品表面起伏引起的光谱信号波动，提高激光诱导击穿光谱技术的检测精度。