法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-09-26
授权
授权
2016-09-07
实质审查的生效 IPC(主分类):H01F 27/14 申请日:20160516
实质审查的生效
2016-09-07
实质审查的生效 IPC(主分类):H01F 27/14 申请日:20160516
实质审查的生效
2016-08-10
公开
公开
2016-08-10
公开
公开
机译: 一种使用一次带电粒子细束的阵列检查样品的方法,一种使用一次带电粒子细束的阵列检查样品的带电粒子束装置以及一种用于检查样品的多柱显微镜
机译: 独立的油道用于带电子油流控制的活塞冷却
机译: 带电粒子束曝光时的面膜花纹检测方法及带电粒子束曝光时的装置