具有可偏转电子束的X射线设备

摘要

公开了一种具有可偏转电子束的X射线设备。一种X射线设备(1)，包括：电子束源(2)，发射电子束(3)；靶(4)，电子束(3)被引导到其上，从而在靶(4)上形成焦斑(5；5a，5b)；X射线光学元件(6)，收集从焦斑(5；5a，5b)发射出的X射线，并形成X射线束(8)；以及样品位置(9)，X射线束(8)被引导到该样品位置(9)处，其特征在于，X射线设备(1)还包括适用于使焦斑(5；5a，5b)在靶(4)上移动的静电或电磁电子束偏转装置(10)，以及在任意方向(x，y，z)上，焦斑(5；5a，5b)的扩展范围比靶(4)的扩展范围小至少F倍，F＝1.5。本发明提供一种X射线设备，其中简化了相对于微焦距X射线源的X射线光学元件的对准。