短波光学热探测器及其焦平面阵列器件

摘要

本发明公开了一种短波光学热探测器及其焦平面阵列，所述短波光学热探测器包括电极、电接触点、光热探测结构和衬底，电极的两端分别与电接触点和光热探测结构连接，所述光热探测结构包括热敏感线和能产生局域表面等离激元共振的导电纳粒子。当特定波长的电磁辐射作用于导电纳粒子时产生局部表面等离激元共振而形成热点，从而引起热敏感线升温而导致其电参数发生变化，从而实现探测器对特定电磁辐射的探测。通过调节导电纳粒子的几何参数和组合不同参数导电纳粒子，实现选择性光谱辐射探测和多波段辐射探测。本发明的光热探测器结构简单，用于实现低成本短波光学(紫外、可见光和近红外)波段探测器及其焦平面阵列成像器件。