利用等离子体形成具有耐腐蚀性和亲水性的多层膜的方法

摘要

本发明公开了一种利用等离子体的耐腐蚀性和亲水性多层膜形成的方法，工程室的内部设置上部电极和下部电极，上部电极和下部电极作为负极。在上部电极和下部电极之间通过，作为正极的材料位于真空间内部，向真空间内部注入六甲基二硅氧烷和氦气气的混合气体，同时，向材料和上部电极和下部电极施加直流电源，形成等离子体。利用等离子体在材料的表面形成耐腐蚀层。然后，将已经形成耐腐蚀层的材料重新放入真空间，注入碳氢系列气体和氦气的混合气体。同时，施加直流电源形成等离子体。利用等离子体在材料的表面上形成亲水层。于是形成了具有耐腐蚀性和亲水性的多层膜。空调机的散热片铝材可以通过上述方法提高材料的耐腐蚀性和亲水性。