法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-10-03
授权
授权
2015-12-30
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/27 申请日:20150805
实质审查的生效
2015-12-30
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/27 申请日:20150805
实质审查的生效
2015-12-02
公开
公开
2015-12-02
公开
公开
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机译: 液体等离子体沉积设备,使用电极和用于液体中等离子体的浸没等离子体的膜形成方法
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