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光模块、电子设备、食物分析装置以及分光照相机

摘要

本发明提供了光模块、电子设备、食物分析装置、分光照相机、以及波长可变干涉滤波器的驱动方法。该光模块具备波长可变干涉滤波器以及控制施加给静电致动器部的电压的电压控制部,该波长可变干涉滤波器具备相互相对的反射膜、以及具有第一静电致动器及第二静电致动器且用于改变反射膜间间隙的静电致动器部,电压控制部具备对第一静电致动器施加偏压的偏压驱动部、间隙检测器以及对第二静电致动器施加与检测出的间隙量相对应的反馈电压的反馈控制部。

著录项

  • 公开/公告号CN103424865B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-10-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 精工爱普生株式会社;

    申请/专利号CN201310175617.2

  • 发明设计人 广久保望;

    申请日2013-05-13

  • 分类号G02B26/00(20060101);G02B5/28(20060101);G01N21/45(20060101);

  • 代理机构11240 北京康信知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人余刚;吴孟秋

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2022-08-23 10:01:08

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-10-03

    授权

    授权

  • 2015-06-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 26/00 申请日:20130513

    实质审查的生效

  • 2015-06-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 26/00 申请日:20130513

    实质审查的生效

  • 2013-12-04

    公开

    公开

  • 2013-12-04

    公开

    公开

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