法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-09-22
授权
授权
2015-10-21
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 15/04 申请日:20140122
实质审查的生效
2015-10-21
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 15/04 申请日:20140122
实质审查的生效
2015-09-23
公开
公开
2015-09-23
公开
公开
机译: 带电粒子束曝光装置的缩小率测定方法,带电粒子束曝光装置的阶段相位测定方法,带电粒子束曝光装置的控制方法以及带电粒子束曝光装置
机译: 带电粒子束曝光装置的缩小率测定方法,带电粒子束曝光装置的阶段相位测定方法,带电粒子束曝光装置的控制方法以及带电粒子束曝光装置
机译: 带电粒子束曝光装置的缩小率测定方法,带电粒子束曝光装置的阶段相位测定方法,带电粒子束曝光装置的控制方法以及带电粒子束曝光装置