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双光路切换互参考高精度AOTF性能测试方法及装置

摘要

本发明公开了一种双光路切换互参考高精度AOTF性能测试方法及装置。该测试方法利用光路切换组件实现探测光路±1级的稳定切换,并利用探测器旋转装置实现光路的稳定交替测试,有效消除光能不稳定性及能量计探头响应不一致等因素对测试结果的影响。该发明具有测试光路紧凑、测试步骤简明易操作、数据处理方法及流程明确等特点,在提高测试精度及系统稳定性的同时可实现高效率测试。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-09-26

    授权

    授权

  • 2015-05-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 11/02 申请日:20150121

    实质审查的生效

  • 2015-05-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 11/02 申请日:20150121

    实质审查的生效

  • 2015-04-29

    公开

    公开

  • 2015-04-29

    公开

    公开

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