干涉量分离单频激光干涉仪非线性误差修正方法及装置

摘要

干涉量分离单频激光干涉仪非线性误差修正方法及装置属于激光测量技术领域，本发明利用光开关实现对参考光和测量光强度的分离测量，进而提取出相关光信号中的非线性误差参数，最终对正交信号的直流偏置误差和幅值不等误差进行矫正；本发明实现了单频激光干涉仪信号中非线性误差参数的开机即提取、对单频激光干涉仪中的非线性误差做出快速实时修正的技术效果。