基于液滴泰勒锥的微纳电化学沉积加工方法

摘要

本发明涉及一种基于液滴泰勒锥的微纳电化学沉积加工方法，属于微纳制造技术领域。本发明的方法是先将含有被沉积金属离子的液滴置于金属探针与工件之间，探针材料同被沉积材料；探针和工件均浸没在绝缘介质中，该绝缘介质与水不互容；探针和工件分别接直流电源的正极和负极；液滴在电场的作用下在探针与工件之间往复运动；液滴在靠近探针和工件时，液滴表面在电场的作用下形成泰勒锥，利用液滴泰勒锥与探针和工件接触时的电化学作用，把金属探针的金属原子变为金属阳离子进入液滴，再由液滴携带金属阳离子至工件表面，通过该液滴的泰勒锥把金属阳离子传送至工件表面，金属阳离子在工件表面得到电子变为原子而沉积，从而实现微纳电化学沉积加工。