用于侵蚀装置的滑动接触装置和用于制造滑动接触装置的方法

摘要

本发明涉及一种滑动接触装置(13)，其设置和设立成应用在侵蚀装置(10)或侵蚀机中。滑动接触装置(13)建立与可围绕旋转轴线(D)驱动的滑环(14)和电流或电压源(11)的电连接。滑动接触装置(13)为此具有电连接导线(12)，其可与电流或电压源(11)电连接。连接导线(12)还机械地和电地与能导电的主体(20)相连接。主体(20)在与滑环(14)相关联的下侧(21)处具有大量伸出的接触芯线(35)。接触芯线(35)由能导电的材料构成。接触芯线(35)优选地捆束成多个绞和线(39)。绞和线(37)在未加载的、不弯曲的状态中彼此平行地远离主体的下侧(21)分别朝向其自由端部(39)延伸。绞和线(37)的自由端部(39)处于共同的柱侧面上，其半径优选地相应于滑环的半径。