基于碳化硅器件的大功率宽频带超声波电源及其控制方法

摘要

本发明涉及一种基于碳化硅器件的大功率宽频带超声波电源及其控制方法，包括PWM整流电路、直流斩波调功电路、全桥逆变电路、主变压器、匹配网络、匹配网络驱动电路、数字控制电路、锁相电路、电压取样电路、电流取样电路、调功控制电路、保护电路、驱动电路、DDS（直接数字频率合成）电路、压电换能器等。其中PWM整流电路、直流斩波调功电路与全桥逆变电路所使用的功率开关器件均为宽禁带碳化硅器件，电源的开关频率、变换效率、功率密度及可靠性均有显著提升，输出功率1kW‑10kW,频率搜索范围18kHz‑100kHz;电源采用了基于谐振频率自动识别的变步长频率跟踪数字控制方法。