一种基于PFH‑SiC有机‑无机异质结构的紫外光电探测器件

摘要

本发明涉及一种紫外光电探测器件的制备方法，具体是指一种基于PFH‑SiC有机‑无机异质结构的紫外光电探测器件的制备方法(PFH为聚9,9一二己基芴)。本发明是通过射频磁控溅射技术在透明导电玻璃ITO衬底上沉积一层n型SiC薄膜，然后利用旋涂机在该薄膜上旋涂一层p型PFH有机蓝光薄膜，最后利用掩膜版在PFH和SiC薄膜上沉积一层约100纳米厚的金薄膜作为电极使用。紫外光电探测器件的光电性能测试结果显示该器件具有很好的光电响应。本发明的优点是：本发明制备的光电器件性能稳定，反应灵敏，暗电流小，具有好的潜在应用；另外，该制备方法具有工艺可控性强，操作简单，普适性好等特点，具有很大的应用前景。