一种利用PDMS薄膜的形变直接测量微通道内压力装置

摘要

一种利用PDMS薄膜的形变直接测量微通道内压力装置，带凹槽的PDMS芯片与主通道通过一层特别薄的聚二甲基硅氧烷(PDMS)膜隔开，这样凹槽密闭，凹槽内气体的压强已知(标准大气压)，当主通道内的流体经过凹槽时，PDMS薄膜会产生变形，导致凹槽内气体体积发生改变，通过测量凹槽内气体体积的大小，快速准确地得到该位置主通道内压力的大小。本发明新颖之处在于设计了一种测量微通道内压力的新装置。微凹槽和微通道的尺寸都可以自行设计，满足不同的测量压力范围。