一种单芯片具有校准/重置线圈的Z轴线性磁电阻传感器

摘要

一种单芯片具有校准/重置线圈的Z轴线性磁电阻传感器，包括单芯片Z轴线性磁电阻传感器及校准线圈和或重置线圈，所述校准线圈、重置线圈为平面或三维线圈，所述平面线圈位于衬底之上磁电阻传感单元之下、磁电阻传感单元和软磁通量集中器之间、软磁通量集中器之上或间隙处，所述三维线圈缠绕软磁通量集中器和磁电阻传感单元，所述校准线圈/重置线圈分别包括平行于钉扎层/自由层磁化方向的直导线，前者在推、挽磁电阻单元串处产生同/反钉扎层方向的等值校准磁场；后者在所有磁电阻传感单元处产生自由层向均匀重置磁场。本发明通过控制校准线圈/重置线圈电流可实现单芯片Z轴线形磁电阻传感器校准及磁状态重置，具有高效、快速、操作方便优点。