一种光学零件高精度平面的修形加工方法

摘要

本发明公开了一种光学零件高精度平面的修形加工方法，该方法在传统研磨抛光方法的基础上，通过专用修形抛光盘使位于抛光盘上不同径向位置环形区域的抛光垫不起材料去除作用，并结合工艺条件控制，获得不同的材料去除率分布曲线，根据工件表面初始表面轮廓形貌偏差，设计各种材料去除特性对应工艺条件的加工时间，实现工件表面的修形加工。本发明的抛光盘上盘由具有升降功能的多个同心环组成，可以获得不同的表面材料去除率分布特性，实现确定性加工。本发明根据光学零件的原始表面轮廓形貌偏差设计修形方案，对表面进行确定性的材料去除加工，总去除余量小，加工效率高，成本低。本发明可以适用于任意形状和厚度的待加工工件。