法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-06-23
授权
授权
2014-09-10
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/06 申请日:20121130
实质审查的生效
2014-08-13
公开
公开
机译: 涂布膜涂布装置,涂布膜的表面检查方法及涂布膜涂布装置的使用来判定涂布膜的表面
机译: 涂布膜涂布装置,涂布膜的表面检查方法及涂布膜涂布装置的使用来判定涂布膜的表面
机译: 涂布液和该涂布液的制备方法,用于半导体器件的绝缘膜的形成方法以及该涂布液的评价方法