一种基于多晶面Ir‑Pd纳米粒子体系掺杂的TiO₂薄膜紫外探测器及其制备方法

摘要

一种基于多晶面Ir‑Pd纳米粒子体系掺杂的TiO₂薄膜紫外探测器及其制备方法，属于半导体紫外光电探测技术领域。按紫外光线入射方向，从下至上依次为：石英片衬底、多晶面Ir‑Pd纳米粒子体系掺杂的TiO₂薄膜、通过磁控溅射方法制备的Au叉指电极。多晶面Ir‑Pd纳米粒子体系掺杂的TiO₂薄膜的厚度为80～110nm；在该薄膜中，Ti与Ir的摩尔比为1：0.0005～0.002，Ti与Pd的摩尔比为1：0.0005～0.002，Ir‑Pd纳米粒子体系中的Ir纳米粒子和Pd纳米粒子均为多晶面结构。制作多晶面Ir‑Pd纳米粒子体系掺杂的TiO₂薄膜材料，可以在Ir，Pd纳米粒子和TiO₂三种材料优良性质的基础之上，通过调节掺杂Ir，Pd纳米粒子的量，更好的提升复合材料性能，从而提高器件在紫外探测领域的能力，使新型紫外探测器具有广阔的应用前景。