监测传输线脉冲静电放电测试响应的方法和系统

摘要

本发明涉及一种监测传输线脉冲静电放电测试响应的方法及系统，在TLP测试系统将不同脉冲电压的传输线脉冲施加到电子元器件的同时，光发射显微镜采集各传输线脉冲放电过程的光发射图像，从而在测试结束时，将各光发射图像与光学反射像叠加，精确定位电子元器件的静电放电通道和损伤点。本发明实现了传输线脉冲静电放电测试过程中电致发光现象的实时监测，便于在静电放电测试过程中明确电子元器件内部的静电放电通道，及时发现并准确定位静电放电的损伤点，从而确定产品抗静电薄弱环节。另外，本发明试验信息利用充分，试验步骤简单，可为电子元器件的静电损伤研究和ESD设计改进提供良好的技术支撑，具有良好的工程应用价值。