收纳容器、收纳容器的开闭器开闭单元、及使用它们的晶圆储料器

摘要

提供一种可以防止外部气氛的流入，通过比较少量的气体能够将晶圆收纳空间维持成所希望的气氛，并且能够防止尘埃向晶圆表面的附着的晶圆储料器。将开闭器相对于主体部隔开间隙地配置，该开闭器由具有与配置于收纳容器内部的搁板的间隔相同的高度尺寸的多个遮挡板构成，通过向收纳容器内部供给清洁气体而与外部环境相比维持成高压的清洁环境，并且通过使遮挡板与支承晶圆的搁板独立地上下移动而对开闭器部进行开闭。