基于径向偏振光束的双加工头激光加工装置

摘要

本发明涉及一种基于径向偏振光束的双加工头激光加工装置，固态增益介质元件外侧设置有圆形型光泵浦源，圆形型光泵浦源出射的泵浦光照射在固态增益介质元件内；固态增益介质元件的内侧光路上依次设有第一反射镜和高反射腔镜，固态增益介质元件外侧光路上依次设有第二反射镜和圆锥面光场调节元件；高反射腔镜的相对于第一反射镜的另一侧光路上设置有光束会聚部件，圆锥面光场调节元件实现腔内径向偏振矢量光束产生，平行光轴光场在圆锥面光场调节元件的顶端平面发生反射，在圆锥面光场调节元件的顶端平面外侧形成近场激光加工光场。本发明可实现超衍射尺寸近场加工、可实现纵向偏振激光加工、便于构建、可靠性高、灵活性强、应用范围广等特点。