公开/公告号CN1258214C
专利类型发明授权
公开/公告日2006-05-31
原文格式PDF
申请/专利权人 国际商业机器公司;
申请/专利号CN200410068370.5
申请日2004-08-31
分类号H01L21/66(20060101);H01L21/302(20060101);G01N21/88(20060101);
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人王永刚
地址 美国纽约
入库时间 2022-08-23 08:58:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-16
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/66 授权公告日:20060531 终止日期:20180831 申请日:20040831
专利权的终止
2017-12-22
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/66 登记生效日:20171204 变更前: 变更后: 申请日:20040831
专利申请权、专利权的转移
2017-12-22
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/66 登记生效日:20171204 变更前: 变更后: 申请日:20040831
专利申请权、专利权的转移
2017-12-22
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/66 登记生效日:20171204 变更前: 变更后: 申请日:20040831
专利申请权、专利权的转移
2017-12-22
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/66 登记生效日:20171204 变更前: 变更后: 申请日:20040831
专利申请权、专利权的转移
2006-05-31
授权
授权
2006-05-31
授权
授权
2006-05-31
授权
授权
2005-06-01
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-06-01
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-06-01
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-03-30
公开
公开
2005-03-30
公开
公开
2005-03-30
公开
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