冷却剂再生方法以及冷却剂再生装置

摘要

本发明提供一种冷却剂再生方法，其特征在于，能够使在用线锯切断晶锭时所使用的冷却剂再利用，以使所述冷却剂以层流状态在中空状的1个或多个中空纤维膜的各中空部内流动的方式，从各中空纤维膜的一端向中空部内分别供给所述冷却剂，中空纤维膜的膜的孔径为0.05μm以下。