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一种酸性蚀刻废液回收再利用的沉淀剂及其处理方法

摘要

本发明涉及对酸性蚀刻废液的回收利用的药剂和方法,尤其涉及一种酸性蚀刻废液回收再利用的沉淀剂及其处理方法。沉淀剂包括带有草酸根离子的化合物,带有草酸根离子的化合物是用作产生草酸铜沉淀的主成分,在酸性体系下,草酸根离子和二价铜离子发生络合沉淀反应,生成草酸铜沉淀;所述可用的草酸根离子的化合物包括草酸、草酸钠、草酸钾、草酸铵;可单独使用草酸,或者使用草酸盐的一种,或者使用以上几种带草酸根离子的化合物的混合物;本发明可以快速高效的沉淀酸性蚀刻废液的铜离子,铜的沉淀物与上清液分离彻底,分离后的上清液不会产生浑浊,不破坏废液中的其他组分,处理后的滤液可回用到酸性蚀刻工序中。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-05-17

    授权

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  • 2015-02-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/46 申请日:20140716

    实质审查的生效

  • 2015-01-28

    公开

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