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烷基化氨基烷基哌嗪表面活性剂及其在光致抗蚀显影剂中的应用

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摘要

本发明提供了水基组合物，具体的说是涂料、油墨、湿润液、胶粘剂、农业的和光致抗蚀显影剂/电子清洗剂组合物，通过加入表面张力降低量的某些有下式结构的烷基化氨基烷基哌嗪化合物可降低其平衡和动态表面张力：其中R

1. 烷基化氨基烷基哌嗪表面活性剂及其在光致抗蚀显影剂中的应用 [P] . 中国专利： CN1248055C . 2006.03.29
2. 光致抗蚀膜和使用该光致抗蚀膜的有机发光显示装置的制造方法 [P] . 中国专利： CN103631093B . 2018.03.20
3. Alkylated aminoalkylpiperazine surfactants and their use in photoresist developers [P] . 美国专利： US6127101A . 2000-10-03

机译：烷基化的氨基烷基哌嗪表面活性剂及其在光刻胶显影剂中的用途
4. ALKYLATED AMINOALKYLPIPERAZINE SURFACTANTS AND THEIR USE IN PHOTORESIST DEVELOPERS [P] . 韩国专利： KR100354159B1 . 2002-09-27

机译：烷基化氨基烷基哌嗪表面活性剂及其在光阻剂中的用途
5. ALKYLATED AMINOALKYLPIPERAZINE SURFACTANTS AND THEIR USE IN PHOTORESIST DEVELOPERS [P] . 韩国专利： KR20010040056A . 2001-05-15

机译：烷基化氨基烷基哌嗪表面活性剂及其在光阻剂中的用途