光学测量系统、光学测量方法及光学测量标尺

摘要

本发明的实施方式包括多种不同类型的光学测量标尺、光学测量装置和用所述光学测量标尺测量位置的方法。在一个实施方式中，一个光学测量标尺包括一个基底和多个标记单元，每一个标记单元固定于标尺的预定位置。每一个标记单元包括多个光学检测的标记元素，每个标记元素有一个元素值，而且每一个元素值被在标记单元内的标记元素的元素值的排列中的任一组数字定义，每一个单元值对应一个物理量。在基底上设有第一方向。物理量包括沿第一方向的在参考位置和预定位置之间的第一距离。