一种大数值孔径的纯折射式干式投影光学系统

摘要

本发明涉及一种大数值孔径的纯折射干式投影光学系统，该投影光学系统数值孔径大，达到0.93。投影光学系统在靠近物方和靠近像方各有一个平板玻璃，它们主要起着保护玻璃的作用。从物面到像面可依次划分为五个镜组，其中，形如腰部的镜组位于第三个镜组，它是一个具有负光焦度的镜组，有利于帮助系统矫正场曲。本发明中的投影光学系统数值孔径高、像差小且结构紧凑，可有效地降低制造成本，降低镜片的加工、检测和装调难度。