基于纳秒‑皮秒‑飞秒激光复合技术的电容式厚膜压力传感器制备方法

摘要

本发明公开了一种基于纳秒 ‑ 皮秒 ‑ 飞秒激光复合技术 的电容式厚膜压力传感器制备方法，包括：首先，根据压力传感器各层的精度要求，选择纳秒、皮秒或飞秒激光作为原始激光进行扫描烧结熔化。然后，根据实时监测反馈选择对特定区域使用皮秒或飞秒激光进行精加工。根据压力传感器加工的实际需要，实时监测可以为尺寸检测、晶相结构检测、微观形貌检测、成分检测等。本发明可实现更精确的尺寸控制和电阻阻值控制，包括电极间距、电极尺寸等，省去了传统3D打印完成后所需的清理、抛光等工序，有效解决了吹粉、残余应力高、强度低等问题。