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一种纤维状硅基薄膜太阳电池及其制备方法

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摘要

本发明属于柔性、高效硅基薄膜太阳电池领域，具体为一种纤维状硅基薄膜太阳电池及其制备方法。本专利采用纤维状基底，若基底不导电需要先在基底上制备背电极，然后利用三室PECVD镀膜系统，在掺杂室及本征室中以SiH

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-06-07

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 31/075 授权公告日:20170503 终止日期:20180521 申请日:20140521

专利权的终止
2017-05-03

授权

授权
2017-05-03

授权

授权
2014-09-24

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/075 申请日:20140521

实质审查的生效
2014-09-24

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/075 申请日:20140521

实质审查的生效
2014-08-06

公开

公开
2014-08-06

公开

公开

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1. 一种纤维状硅基薄膜太阳电池及其制备方法 [P] . 中国专利： CN103972321B . 2017.05.03
2. 一种硅基薄膜太阳电池及其制备方法 [P] . 中国专利： CN102916060B . 2014.11.26
3. CIGS FABRICATION METHOD OF CIGS ABSORBER LAYER AND THIN FILM SOLAR CELL USING DOUBLE INTRELAYERS AND THIN FILM SOLAR CELL [P] . 韩国专利： KR101831700B1 . 2018-02-23

机译：双整数层和薄膜太阳电池的cigs吸收层和薄膜太阳电池的cigs制备方法
4. PREPARATION METHOD OF HYBRID THIN FILM SOLAR CELL AND HYBRID THIN FILM SOLAR CELL PREPARED THEREBY [P] . 韩国专利： KR101590512B1 . 2016-02-02

机译：混合型薄膜太阳电池的制备方法及由此制备的混合型薄膜太阳电池
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