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多晶硅铸锭炉的隔热块及包括该隔热块的多晶硅铸锭炉

摘要

本发明公开了一种用于多晶硅铸锭炉的隔热块,设置在多晶硅铸锭炉的坩埚底部外周,用于坩埚加热或冷却多晶硅过程中的隔热保温,该隔热块为中空方形筒体结构,筒体筒壁为中空夹层结构,其中内壁用于包覆设置在坩埚底部的热交换块外周壁面,且该内壁与所述热交换块外周壁面具有间隙,所述外壁用于与设置在坩埚外围的竖直隔热板固定接触,所述坩埚中心线、热交换块中心线以及隔热块中心线重合,且所述隔热块顶部低于热交换块顶部。本发明还公开了具有该隔热块的铸锭炉。本发明不仅可以缩短硅锭铸造过程中化料时间,降低能耗,而且能够有效抑制形核初期坩埚壁附近晶粒优先生长,获得微凸和比较平直的凝固界面,进而提高硅锭质量。

著录项

  • 公开/公告号CN104372403B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-04-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 华中科技大学;

    申请/专利号CN201410631857.3

  • 申请日2014-11-11

  • 分类号

  • 代理机构华中科技大学专利中心;

  • 代理人李智

  • 地址 430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

  • 入库时间 2022-08-23 09:54:48

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-04-12

    授权

    授权

  • 2015-03-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 28/06 申请日:20141111

    实质审查的生效

  • 2015-02-25

    公开

    公开

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