用于产生远紫外线辐射或软X射线辐射的方法和装置

摘要

借助气体放电产生远紫外线辐射/软X射线辐射的方法，尤其被用于EUV光刻术，其中，在放电室(11)内给两个电极施加高电压，在所述的两个电极之间，根据在帕申曲线的左支路上进行的放电工作而在两个同轴电极开孔(12，13)的区域内提供一种具有预定气压的气体填充，在该气体填充当中通过输入能量而构造发出辐射的等离子体(10)，其特征在于：所述的等离子体(10)在所述的电极开孔(12，13)的区域内借助气体填充的压力变化而被偏移。